(19)

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EP 2 401 773 A2

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(88) Veröffentlichungstag A3: 21.10.2010 (43) Veröffentlichungstag: 04.01.2012  Patentblatt  2012/01 (21) Anmeldenummer: 09807437.0 (22) Anmeldetag:  10.12.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/18(2006.01) B23K 26/073(2006.01) H01L 27/142(2006.01) C30B 13/00(2006.01) C30B 13/24(2006.01) H01L 21/268(2006.01) H01L 21/20(2006.01) H01L 21/02(2006.01) C30B 1/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2009/050072 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/097064 (02.09.2010 Gazette  2010/35)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 27.02.2009 DE 102009010841 (71) Anmelder: JENOPTIK Automatisierungstechnik GmbH 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: ZÜHLKE, Hans-Ulrich 07743 Jena (DE) EBERHARDT, Gabriele 07749 Jena (DE)