(19)
(11) EP 2 403 679 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.12.2010

(43) Veröffentlichungstag:
11.01.2012  Patentblatt  2012/02

(21) Anmeldenummer: 10705105.4

(22) Anmeldetag:  15.02.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B23K 26/14(2006.01)
H01L 21/268(2006.01)
 C30B 31/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/000918
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/099862 (10.09.2010 Gazette  2010/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 02.03.2009 DE 102009011308

(71) Anmelder:
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)
  • Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
    79085 Freiburg (DE)

(72) Erfinder:
  • MAYER, Kuno
    79114 Freiburg (DE)
  • KROSSING, Ingo
    79114 Freiburg (DE)
  • KNAPP, Carsten
    79117 Freiburg (DE)
  • GRANEK, Filip
    79110 Freiburg (DE)
  • MESEC, Matthias
    79104 Freiburg (DE)
  • RODOFILI, Andreas
    79100 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Theresienhöhe 13
DE-80339 München
DE-80339 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SIMULTANEN MIKROSTRUKTURIERUNG UND DOTIERUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN