(19)
(11) EP 2 404 322 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
28.04.2011

(43) Veröffentlichungstag:
11.01.2012  Patentblatt  2012/02

(21) Anmeldenummer: 10704123.8

(22) Anmeldetag:  25.01.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0224(2006.01)
H01L 31/18(2006.01)
G01R 31/265(2006.01)
 H01L 31/068(2012.01)
G01R 31/26(2006.01)
H01L 21/66(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/050765
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/099998 (10.09.2010 Gazette  2010/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 04.03.2009 DE 102009011640
23.04.2009 DE 102009018653

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70469 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • WÜTHERICH, Tobias
    99084 Erfurt (DE)
  • WEIß, Mathias
    07743 Jena (DE)
  • LOSSEN, Jan
    99086 Erfurt (DE)
  • MEYER, Karsten
    99084 Erfurt (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN UNTER NUTZUNG VON DOTIERUNGSTECHNIKEN