(19)
(11) EP 2 405 240 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
18.01.2017  Patentblatt  2017/03

(43) Veröffentlichungstag A2:
11.01.2012  Patentblatt  2012/02

(21) Anmeldenummer: 11172314.4

(22) Anmeldetag:  01.07.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01D 5/14(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 05.07.2010 CH 11082010

(71) Anmelder: Melexis Tessenderlo NV
3980 Tessenderlo (BE)

(72) Erfinder:
  • Laville, Arnaud
    2000 Neuchatel (CH)
  • Poezart, Mathieu
    2024 Saint-Aubi (CH)

(74) Vertreter: Falk, Urs 
Patentanwaltsbüro Dr. Urs Falk Eichholzweg 9A
6312 Steinhausen
6312 Steinhausen (CH)

   


(54) Magnetischer Winkelsensor


(57) Ein magnetischer Winkelsensor umfasst einen Halbleiterchip (6), mindestens zwei auf einer Oberfläche des Halbleiterchips angeordnete Magnetfeldkonzentratoren (7, 8) mit einer flächigen Form, und vier Hallsensoren (9 - 12). Jeder Hallsensor ist einem Magnetfeldkonzentrator zugeordnet und umfasst ein Hallelement oder einen Cluster von Hallelementen. Die Hallelemente sind im Halbleiterchip integriert und im Bereich des Randes des zugeordneten Magnetfeldkonzentrators angeordnet, wo sie von Feldlinien des Magnetfelds durchflutet werden, die im Bereich des Randes des Magnetfeldkonzentrators annähernd senkrecht zu der genannten Oberfläche des Halbleiterchips verlaufen. Zwei Hallsensoren bilden ein erstes Sensorpaar zur Messung einer ersten Komponente des Magnetfelds und die anderen zwei Hallsensoren bilden ein zweites Sensorpaar zur Messung einer zweiten Komponente des Magnetfelds. Verbindungslinien (14, 15), die diejenigen Hallsensoren verbinden, die im Bereich des Randes des gleichen Magnetfeldkonzentrators angeordnet sind, verlaufen entweder parallel zueinander oder bilden eine einzige gemeinsame Linie (13).







Recherchenbericht









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