(19)
(11) EP 2 409 126 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.01.2012  Patentblatt  2012/04

(21) Anmeldenummer: 10705085.8

(22) Anmeldetag:  17.02.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01J 5/20(2006.01)
G01J 5/08(2006.01)
G02B 5/22(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/AT2010/000044
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/094051 (26.08.2010 Gazette  2010/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 20.02.2009 AT 2902009

(71) Anmelder: AIT Austrian Institute of Technology GmbH
1220 Wien (AT)

(72) Erfinder:
  • BRÜCKL, Hubert
    A-2344 Maria Enzersdorf (AT)
  • MAIER, Thomas
    A-1230 Wien (AT)

(74) Vertreter: Wildhack & Jellinek 
Patentanwälte Landstraßer Hauptstraße 50
A-1030 Wien
A-1030 Wien (AT)

   


(54) RESONATORELEMENT UND RESONATOR-PIXEL FÜR MIKROBOLOMETER-SENSOR