(19)

(11)

EP 2 409 313 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 25.01.2012  Patentblatt  2012/04 (21) Anmeldenummer: 09775849.4 (22) Anmeldetag:  17.03.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 37/32(2006.01) H01L 21/311(2006.01) C23C 16/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2009/000383 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/105585 (23.09.2010 Gazette  2010/38)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR (71) Anmelder: Roth & Rau AG 09337 Hohenstein-Ernstthal (DE)	(72) Erfinder: SCHLEMM, Hermann 07743 Jena (DE) UHLIG, Matthias 09385 Lugau (DE) (74) Vertreter: Steiniger, Carmen  Kanzlei Dr. Steiniger Ricarda-Huch-Straße 4 09116 Chemnitz 09116 Chemnitz (DE)