(19)
(11) EP 2 409 316 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.01.2012  Patentblatt  2012/04

(21) Anmeldenummer: 10714161.6

(22) Anmeldetag:  19.02.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/00(2006.01)
H01L 21/673(2006.01)
 H01L 21/677(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2010/000204
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/094278 (26.08.2010 Gazette  2010/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 19.02.2009 DE 102009009548

(71) Anmelder: Jonas & Redmann Automationstechnik GmbH
10553 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • JONAS, Stefan
    12351 Berlin (DE)
  • REDMANN, Lutz
    14532 Kleinmachnow (DE)
  • HARTWIG, Robert
    15366 Dahlwitz-Hoppegarten (DE)

(74) Vertreter: Hoffmann, Klaus-Dieter 
Kurfürstendamm 40-41
10719 Berlin
10719 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BILDEN EINER PAKETARTIGEN BACK-TO-BACK-WAFERCHARGE