(19)
(11) EP 2 409 327 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.01.2012  Patentblatt  2012/04

(21) Anmeldenummer: 10712326.7

(22) Anmeldetag:  22.03.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 23/31(2006.01)
 H01L 23/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/001792
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/105853 (23.09.2010 Gazette  2010/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 20.03.2009 DE 102009014237

(71) Anmelder: Microgan Gmbh
89081 Ulm (DE)

(72) Erfinder:
  • DAUMILLER, Ingo
    88451 Dettingen (DE)
  • HEINLE, Ulrich
    89231 Neu-Ulm (DE)
  • KUNZE, Mike
    89284 Pfaffenhofen a.d. Roth (DE)
  • NIKOLAEV, Dmitry
    89075 Ulm (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 13
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERTIKAL KONTAKTIERTES ELEKTRONISCHES BAUELEMENT SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SOLCHEN