(19)

(11)

EP 2 411 998 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 01.02.2012  Patentblatt  2012/05 (21) Anmeldenummer: 10710833.4 (22) Anmeldetag:  18.03.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 37/30(2006.01) H01J 37/305(2006.01) H01J 37/28(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/053561 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/108852 (30.09.2010 Gazette  2010/39)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 26.03.2009 DE 102009001910 (71) Anmelder: Carl Zeiss NTS GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: SCHERTEL, Andreas 73431 Aalen (DE) (74) Vertreter: Tongbhoyai, Martin  Patentanwälte Freischem Salierring 47-53 50677 Köln 50677 Köln (DE)