(19)
(11) EP 2 414 557 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.02.2012  Patentblatt  2012/06

(21) Anmeldenummer: 10716757.9

(22) Anmeldetag:  25.03.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/35(2006.01)
C23C 14/00(2006.01)
C23C 14/56(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/001871
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/112170 (07.10.2010 Gazette  2010/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 31.03.2009 DE 102009015737

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PFLUG, Andreas
    38124 Braunschweig (DE)
  • SIEMERS, Michael
    38102 Braunschweig (DE)
  • SITTINGER, Volker
    38106 Braunschweig (DE)
  • SZYSZKA, Bernd
    38108 Braunschweig (DE)
  • ULRICH, Stephan
    38106 Braunschweig (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Theresienhöhe 13
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) MAGNETRON-BESCHICHTUNGSMODUL SOWIE MAGNETRON-BESCHICHTUNGSVERFAHREN