(19)
(11) EP 2 414 566 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.02.2012  Patentblatt  2012/06

(21) Anmeldenummer: 10703863.0

(22) Anmeldetag:  11.02.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C30B 11/00(2006.01)
C30B 35/00(2006.01)
 C30B 29/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/051695
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/112259 (07.10.2010 Gazette  2010/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 01.04.2009 DE 102009015236

(71) Anmelder: H.C. Starck GmbH
38642 Goslar (DE)

(72) Erfinder:
  • WAGNER, Rolf
    95100 Selb (DE)
  • ARZBERGER, Florian
    95707 Thiersheim (DE)

   


(54) TIEGEL ZUR HALBLEITERHERSTELLUNG GEEIGNETEN SILIZIUM