(19)

(11)

EP 2 419 641 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 06.10.2011 (43) Veröffentlichungstag: 22.02.2012  Patentblatt  2012/08 (21) Anmeldenummer: 10714627.6 (22) Anmeldetag:  16.04.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F04C 28/08(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/055043 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/119121 (21.10.2010 Gazette  2010/42)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 17.04.2009 DE 102009017887 (71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: BIRCH, Peter West Sussex RH13 8JY (GB) (74) Vertreter: von Kreisler Selting Werner  Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)