(19)
(11) EP 2 422 363 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.02.2012  Patentblatt  2012/09

(21) Anmeldenummer: 10720560.1

(22) Anmeldetag:  23.04.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/677(2006.01)
H01L 21/687(2006.01)
 H01L 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/055455
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/122153 (28.10.2010 Gazette  2010/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 24.04.2009 DE 102009018777
12.08.2009 DE 102009037291

(71) Anmelder: Singulus Technologies AG
63796 Kahl am Main (DE)

(72) Erfinder:
  • REISING, Michael
    63776 Mömbris (DE)
  • KEMPF, Stefan
    63755 Alzenau (DE)

(74) Vertreter: Heunemann, Dieter 
Vossius & Partner Siebertstrasse 4
81675 München
81675 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EIN- UND AUSSCHLEUSEN VON SUBSTRATEN