(19)

(11)

EP 2 425 035 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.03.2012  Patentblatt  2012/10 (21) Anmeldenummer: 10716336.2 (22) Anmeldetag:  27.04.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/24(2006.01) B05D 5/08(2006.01) C23C 14/14(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/055633 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/133426 (25.11.2010 Gazette  2010/47)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 29.04.2009 DE 102009019146 (71) Anmelder: Theva Dünnschichttechnik GmbH 85737 Ismaning (DE)	(72) Erfinder: PRUSSEIT, Werner 80799 München (DE) (74) Vertreter: Wegner, Hans  Bardehle Pagenberg Prinzregentenplatz 7 81675 München 81675 München (DE)