(19)
(11) EP 2 425 038 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
31.03.2011

(43) Veröffentlichungstag:
07.03.2012  Patentblatt  2012/10

(21) Anmeldenummer: 10715825.5

(22) Anmeldetag:  26.04.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 18/12(2006.01)
H01L 21/288(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/055499
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/125011 (04.11.2010 Gazette  2010/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 28.04.2009 EP 09158896

(71) Anmelder: BASF SE
67056 Ludwigshafen (DE)

(72) Erfinder:
  • KARPOV, Andrey
    68159 Mannheim (DE)
  • FLEISCHHAKER, Friederike
    65527 Niedernhausen (DE)
  • DOMKE, Imme
    68165 Mannheim (DE)
  • KASTLER, Marcel
    55122 Mainz (DE)
  • WLOKA, Veronika
    68163 Mannheim (DE)
  • WEBER, Lothar
    33739 Bielefeld (DE)

(74) Vertreter: Steinbusch, Daniel et al
Isenbruck Bösl Hörschler LLP Patentanwälte Seckenheimer Landstrasse 4
68163 Mannheim
68163 Mannheim (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITENDEN SCHICHTEN