(19)

(11)

EP 2 430 220 A1

(12)

(43) Date de publication: 21.03.2012  Bulletin  2012/12 (21) Numéro de dépôt: 10728759.1 (22) Date de dépôt:  12.05.2010

(51) Int. Cl.:  C30B 7/00(2006.01) C30B 29/16(2006.01) C30B 29/62(2006.01) C30B 19/10(2006.01) C30B 29/60(2006.01) G03F 7/00(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2010/050936 (87) Numéro de publication internationale: WO 2010/130963 (18.11.2010 Gazette  2010/46)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorité: 14.05.2009 FR 0902339 (71) Demandeur: Université de Technologie de Troyes 10010 Troyes Cédex (FR)	(72) Inventeurs: LERONDEL, Gilles F-10800 Saint Julien des Villes (FR) DIVAY, Laurent F-94200 Ivry-sur-Seine (FR) (74) Mandataire: Novagraaf Technologies  122 rue Edouard Vaillant 92593 Levallois-Perret Cedex 92593 Levallois-Perret Cedex (FR)