ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSK..HRIS..MTNO....SM..................*XDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 1100000/02430220A120120321EP10728759.12010051220111109frfrfr090233920090514FR2012032120121220120321201212C30B 7/00 20060101AFI20101129BHEP C30B 19/10 20060101ALI20101129BHEP C30B 29/16 20060101ALI20101129BHEP C30B 29/60 20060101ALI20101129BHEP C30B 29/62 20060101ALI20101129BHEP G03F 7/00 20060101ALI20101129BHEP deVERFAHREN ZUR NANOSTRUKTURIERUNG EINES FILMS ODER WAFERS AUS METALLOXID- ODER HALBLEITERMATERIALenMETHOD OF NANOSTRUCTURING A FILM OR A WAFER OF MATERIAL OF THE METAL OXIDE OR SEMI-CONDUCTOR TYPEfrPROCEDE DE NANOSTRUCTURATION D'UN FILM OU D'UNE GALETTE DE MATERIAU DU TYPE OXYDE METALLIQUE OU SEMI-CONDUCTEURUniversité de Technologie de Troyes101143765AUB-133522EPPC12, rue Marie Curie Boite Postale 206010010 Troyes CédexFRLERONDEL, Gilles1 avenue des SapinsF-10800 Saint Julien des VillesFRDIVAY, Laurent10 rue Jean-Marie PoulmarchF-94200 Ivry-sur-SeineFRNovagraaf Technologies100061566122 rue Edouard Vaillant92593 Levallois-Perret CedexFRALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTROSESISKSMTRFR201005093620100512frWO201013096320101118201046