(19)
(11) EP 2 430 658 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.08.2011

(43) Veröffentlichungstag:
21.03.2012  Patentblatt  2012/12

(21) Anmeldenummer: 10722601.1

(22) Anmeldetag:  12.05.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 27/142(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/002933
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/130439 (18.11.2010 Gazette  2010/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 14.05.2009 DE 102009021273

(71) Anmelder: Schott Solar AG
55122 Mainz (DE)

(72) Erfinder:
  • WAGNER, Hermann
    07745 Jena (DE)

(74) Vertreter: Berngruber, Otto 
von Puttkamer - Berngruber Patentanwälte Türkenstrasse 9
80333 München
80333 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES PHOTOVOLTAISCHEN DÜNNSCHICHTMODULS