(19)
(11) EP 2 432 586 B8

(12) FASCICULE DE BREVET EUROPEEN CORRIGE
Avis: La bibliographie est mise à jour

(15) Information de correction:
Version corrigée no  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum publié le:
18.05.2016  Bulletin  2016/20

(45) Mention de la délivrance du brevet:
16.03.2016  Bulletin  2016/11

(21) Numéro de dépôt: 10728751.8

(22) Date de dépôt:  12.05.2010
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/311(2006.01)
 H01L 21/3213(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2010/050927
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2010/133786 (25.11.2010 Gazette  2010/47)

(54)

PROCEDE DE GRAVURE D'UN MATERIAU EN PRESENCE D'UN GAZ

VERFAHREN ZUM ÄTZEN EINES MATERIALS IN GEGENWART EINES GASES

METHOD FOR ETCHING A MATERIAL IN THE PRESENCE OF A GAS

(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorité: 18.05.2009 FR 0953293

(43) Date de publication de la demande:
28.03.2012  Bulletin  2012/13

(73) Titulaires:
  • Institut Polytechnique de Grenoble
    38031 Grenoble Cedex (FR)
    Etats contractants désignés:
    CH DE FR GB IE LI 
  • Université Grenoble Alpes
    38400 Saint-Martin-d'Hères (FR)
    Etats contractants désignés:
    CH DE FR GB IE LI 

(72) Inventeurs:
  • BAILLET, Francis
    F-38850 Paladru (FR)
  • GONDREXON, Nicolas
    F-38240 Meylan (FR)

(74) Mandataire: Casalonga, Axel 
Casalonga & Partners Bayerstrasse 73
80335 München
80335 München (DE)


(56) Documents cités: : 
EP-A2- 0 844 650
US-A1- 2004 226 654
 FR-A- 2 923 947
   
  • CHEN J ET AL: "Study of anisotropic etching of (1 0 0) Si with ultrasonic agitation" SENSORS AND ACTUATORS A, ELSEVIER SEQUOIA S.A., LAUSANNE, CH, vol. 96, no. 2-3, 28 février 2002 (2002-02-28), pages 152-156, XP004343623 ISSN: 0924-4247
   
Il est rappelé que: Dans un délai de neuf mois à compter de la date de publication de la mention de la délivrance de brevet européen, toute personne peut faire opposition au brevet européen délivré, auprès de l'Office européen des brevets. L'opposition doit être formée par écrit et motivée. Elle n'est réputée formée qu'après paiement de la taxe d'opposition. (Art. 99(1) Convention sur le brevet européen).