(19)
(11) EP 2 435 599 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
27.01.2011

(43) Veröffentlichungstag:
04.04.2012  Patentblatt  2012/14

(21) Anmeldenummer: 10723956.8

(22) Anmeldetag:  12.05.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 18/14(2006.01)
 C23C 18/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/056546
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/136338 (02.12.2010 Gazette  2010/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 27.05.2009 DE 102009023628

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • JENSEN, Jens, Dahl
    14050 Berlin (DE)
  • KRÜGER, Ursus
    14089 Berlin (DE)
  • WINKLER, Gabriele
    13587 Berlin (DE)
  • DOYE, Christian
    13156 Berlin (DE)
  • KUNERT, Kathrin
    14089 Berlin (DE)
  • ULLRICH, Raymond
    14621 Schönwalde (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER SCHICHT MIT ABSORBERPARTIKELN FÜR EINE ENERGIESTRAHLUNG