(19)
(11) EP 2 435 840 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.04.2012  Patentblatt  2012/14

(21) Anmeldenummer: 10720391.1

(22) Anmeldetag:  11.05.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01R 31/312(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/056451
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/136330 (02.12.2010 Gazette  2010/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 28.05.2009 DE 102009022965

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ALATAS, Fatih
    81673 München (DE)
  • KÖRDEL, Martin
    82008 Unterhaching (DE)
  • SCHICK, Anton
    84149 Velden (DE)

   


(54) MESSUNG EINES SUBSTRATS MIT ELEKTRISCH LEITENDEN STRUKTUREN