(19)
(11) EP 2 436 027 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.04.2012  Patentblatt  2012/14

(21) Anmeldenummer: 10720620.3

(22) Anmeldetag:  20.05.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/00(2006.01)
 H01L 21/306(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/056995
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/136387 (02.12.2010 Gazette  2010/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 25.05.2009 DE 102009022477

(71) Anmelder: Universität Konstanz
78464 Konstanz (DE)

(72) Erfinder:
  • HAHN, Giso
    78462 Konstanz (DE)
  • HAVERKAMP, Helge
    78464 Konstanz (DE)
  • XIMELLO-QUIEBRAS, Jose Nestor
    78467 Konstanz (DE)

(74) Vertreter: Maiwald Patentanwalts GmbH 
Elisenhof Elisenstraße 3
80335 München
80335 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM TEXTURIEREN EINER OBERFLÄCHE EINES HALBLEITERSUBSTRATES SOWIE VORRICHTUNG ZUM DURCHFÜHREN DES VERFAHRENS