(19)

(11)

EP 2 438 207 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 11.04.2012  Patentblatt  2012/15 (21) Anmeldenummer: 10721772.1 (22) Anmeldetag:  17.05.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/46(2006.01) C23C 16/26(2006.01) C23C 16/28(2006.01) C23C 16/24(2006.01) C23C 16/27(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/056719 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2010/139547 (09.12.2010 Gazette  2010/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 02.06.2009 DE 102009023471 (71) Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: HARIG, Tino 38685 Langelsheim (DE) HÖFER, Markus 38162 Cremlingen-Gardessen (DE) LAUKART, Artur 38112 Braunschweig (DE) SCHÄFER, Lothar 38527 Meine (DE) ARMGARDT, Markus 38104 Braunschweig (DE) (74) Vertreter: Goeden, Christian et al Andrae Flach Haug Patentanwälte Balanstraße 55 D-81541 München D-81541 München (DE)