(19)
(11)
EP 2 446 720 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
07.04.2011
(43)
Veröffentlichungstag:
02.05.2012
Patentblatt 2012/18
(21)
Anmeldenummer:
10726485.5
(22)
Anmeldetag:
18.06.2010
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
H05K
3/12
(2006.01)
H01L
31/024
(2006.01)
H01L
21/288
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/058612
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/149579
(
29.12.2010
Gazette 2010/52)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
(30)
Priorität:
22.06.2009
EP 09163346
(71)
Anmelder:
BASF SE
67056 Ludwigshafen (DE)
(72)
Erfinder:
KLEINE JÄGER, Frank
67098 Bad Dürkheim (DE)
HERMES, Stephan
67098 Bad Dürkheim (DE)
(74)
Vertreter:
Schuck, Alexander
Isenbruck Bösl Hörschler LLP Eastsite One Seckenheimer Landstrasse 4
68163 Mannheim
68163 Mannheim (DE)
(54)
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER STRUKTURIERTEN METALLISCHEN BESCHICHTUNG