(19)
(11) EP 2 446 720 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.04.2011

(43) Veröffentlichungstag:
02.05.2012  Patentblatt  2012/18

(21) Anmeldenummer: 10726485.5

(22) Anmeldetag:  18.06.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05K 3/12(2006.01)
H01L 31/024(2006.01)
H01L 21/288(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/058612
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/149579 (29.12.2010 Gazette  2010/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 22.06.2009 EP 09163346

(71) Anmelder: BASF SE
67056 Ludwigshafen (DE)

(72) Erfinder:
  • KLEINE JÄGER, Frank
    67098 Bad Dürkheim (DE)
  • HERMES, Stephan
    67098 Bad Dürkheim (DE)

(74) Vertreter: Schuck, Alexander 
Isenbruck Bösl Hörschler LLP Eastsite One Seckenheimer Landstrasse 4
68163 Mannheim
68163 Mannheim (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER STRUKTURIERTEN METALLISCHEN BESCHICHTUNG