(19)

(11)

EP 2 449 149 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.05.2012  Patentblatt  2012/19 (21) Anmeldenummer: 10728680.9 (22) Anmeldetag:  05.07.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 22/17(2006.01) C23C 18/12(2006.01) C23C 22/83(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/059586 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/000969 (06.01.2011 Gazette  2011/01)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 03.07.2009 EP 09164575 (71) Anmelder: ATOTECH Deutschland GmbH 10553 Berlin (DE)	(72) Erfinder: HOFMANN, Udo 64297 Darmstadt (DE) DONSBACH, Hermann 65468 Trebur (DE) UNGER, Jörg 65468 Trebur (DE) KRENZEL, Volker 65439 Flörsheim (DE) (74) Vertreter: Wonnemann, Jörg  Atotech Deutschland GmbH Patent Management Erasmusstraße 20 10553 Berlin 10553 Berlin (DE)