(19)
(11) EP 2 449 578 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.05.2012  Patentblatt  2012/19

(21) Anmeldenummer: 10732651.4

(22) Anmeldetag:  29.06.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/003931
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/000544 (06.01.2011 Gazette  2011/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 01.07.2009 DE 102009031357

(71) Anmelder:
  • Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V.
    80686 München (DE)
  • Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
    79085 Freiburg (DE)

(72) Erfinder:
  • JANZ, Stefan
    79106 Freiburg (DE)
  • LINDEKUGEL, Stefan
    79110 Freiburg (DE)
  • REBER, Stefan
    79194 Gundelfingen (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Theresienhöhe 13
DE-80339 München
DE-80339 München (DE)

   


(54) KRISTALLINE SILICIUMSCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT, VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG UND VERWENDUNG