(19)
(11) EP 2 449 603 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
15.09.2011

(43) Veröffentlichungstag:
09.05.2012  Patentblatt  2012/19

(21) Anmeldenummer: 10750022.5

(22) Anmeldetag:  01.07.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2010/000758
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/000361 (06.01.2011 Gazette  2011/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 03.07.2009 DE 102009031592

(71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich Gmbh
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • LAMBERTZ, Andreas
    52428 Jülich (DE)
  • HAAS, Stefan
    52499 Baesweiler (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND SERIENVERSCHALTUNG VON STREIFENFÖRMIGEN ELEMENTEN AUF EINEM SUBSTRAT