(19)
(11) EP 2 457 263 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.05.2011

(43) Veröffentlichungstag:
30.05.2012  Patentblatt  2012/22

(21) Anmeldenummer: 10739325.8

(22) Anmeldetag:  22.07.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/060644
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/009917 (27.01.2011 Gazette  2011/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 23.07.2009 DE 102009035343

(71) Anmelder: Gebr. Schmid GmbH
72250 Freudenstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • WORM, Sven
    72296 Schopfloch (DE)
  • HUBER, Reinhard
    72250 Freudenstadt-Dietersweiler (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner 
Kronenstrasse 30
70174 Stuttgart
70174 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REINIGUNG VON SUBSTRATEN AN EINEM TRÄGER