(19)

(11)

EP 2 459 767 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 06.06.2012  Patentblatt  2012/23 (21) Anmeldenummer: 10724707.4 (22) Anmeldetag:  28.05.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/44(2006.01) H01J 37/32(2006.01) B08B 7/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/003247 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/012185 (03.02.2011 Gazette  2011/05)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 26.07.2009 DE 102009035045 18.02.2010 DE 102010008499 (71) Anmelder: Leybold Optics GmbH 63775 Alzenau (DE)	(72) Erfinder: BECKMANN, Rudolf 64546 Hammersbach (DE) GEISLER, Michael 63607 Wächtersbach (DE) ROST, Harald 63571 Gelnhausen (DE) (74) Vertreter: Pohlmann, Bernd Michael et al Rossmarkt 12 60311 Frankfurt am Main 60311 Frankfurt am Main (DE)