(19)

(11)

EP 2 461 882 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.06.2012  Patentblatt  2012/24 (21) Anmeldenummer: 10737918.2 (22) Anmeldetag:  02.08.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B01D 3/00(2006.01) C01B 33/04(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/061199 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/015548 (10.02.2011 Gazette  2011/06)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 04.08.2009 DE 102009037154 (71) Anmelder: Schmid Silicon Technology GmbH 72250 Freudenstadt (DE)	(72) Erfinder: PETRIK, Adolf 72250 Freudenstadt (DE) HAHN, Jochem 72108 Rottenburg (DE) SCHMID, Christian 72250 Freudenstadt (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner  Kronenstrasse 30 70174 Stuttgart 70174 Stuttgart (DE)