(19)
(11) EP 2 462 620 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.06.2012  Patentblatt  2012/24

(21) Anmeldenummer: 10721038.7

(22) Anmeldetag:  09.06.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/872(2006.01)
H01L 29/06(2006.01)
 H01L 21/329(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/058067
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/015394 (10.02.2011 Gazette  2011/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 05.08.2009 DE 102009028248

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • QU, Ning
    72770 Reutlingen (DE)
  • GOERLACH, Alfred
    72127 Kusterdingen (DE)

   


(54) HALBLEITERANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG