(19)
(11) EP 2 462 636 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.06.2012  Patentblatt  2012/24

(21) Anmeldenummer: 10724517.7

(22) Anmeldetag:  15.06.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 41/083(2006.01)
H01L 41/24(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/058383
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/015403 (10.02.2011 Gazette  2011/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 05.08.2009 DE 102009028259

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • CROMME, Peter
    96050 Bamberg (DE)
  • FUCHS, Karlheinz
    96182 Reckendorf (DE)
  • KRAPP, Bernhard
    96135 Stegaurach (DE)
  • BENES, Jan
    96047 Bamberg (DE)
  • SCHNEIDER, Stefan
    56759 Kaisersesch (DE)
  • SOMMARIVA, Helmut
    A-8053 Graz (AT)
  • KLONCZYNSKI, Alexander
    96049 Bamberg (DE)
  • FICKER, Berthold
    96050 Bamberg (DE)
  • LINZ, Alfred
    96260 Weismain (DE)
  • MERBECKS, Thomas
    Nashik Maharashtra 422002 (IN)
  • KOELLEIN, Robert
    96052 Bamberg (DE)
  • HERRMANN, Hartwig
    96103 Hallstadt (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON PIEZOELEKTRISCHEN WERKSTÜCKEN