(19)
(11) EP 2 467 513 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.06.2012  Patentblatt  2012/26

(21) Anmeldenummer: 10744568.6

(22) Anmeldetag:  13.08.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 18/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/061836
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/020792 (24.02.2011 Gazette  2011/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 21.08.2009 DE 102009028802

(71) Anmelder: Evonik Degussa GmbH
45128 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • STEIGER, Jürgen
    40237 Düsseldorf (DE)
  • PHAM, Duy Vu
    46047 Oberhausen (DE)
  • THIEM, Heiko
    64625 Bensheim (DE)
  • MERKULOV, Alexey
    67059 Ludwigshafen (DE)
  • HOPPE, Arne
    44623 Herne (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG METALLOXID-HALTIGER SCHICHTEN