(19)
(11) EP 2 467 662 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.06.2012  Patentblatt  2012/26

(21) Anmeldenummer: 10745632.9

(22) Anmeldetag:  23.08.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F27D 11/02(2006.01)
C23C 16/48(2006.01)
F27D 99/00(2010.01)
H05B 3/48(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/062264
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/020924 (24.02.2011 Gazette  2011/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 21.08.2009 DE 102009038341

(71) Anmelder: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH
01324 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • HENTSCHEL, Michael
    01189 Dresden (DE)
  • MEYER, Thomas
    01187 Dresden (DE)
  • VON DER WAYDBRINK, Hubertus
    01326 Dresden (DE)
  • KENNE, Marco
    01099 Dresden (DE)
  • STANGE, Daniel
    01109 Dresden (DE)
  • HECHT, Hans-Christian
    01689 Weinboehla (DE)

(74) Vertreter: Lippert, Stachow & Partner 
Patentanwälte Krenkelstrasse 3
01309 Dresden
01309 Dresden (DE)

   


(54) FLÄCHENHEIZEINRICHTUNG FÜR EINE SUBSTRATBEHANDLUNGSEINRICHTUNG, UND SUBSTRATBEHANDLUNGSEINRICHTUNG