(19)

(11)

EP 2 471 088 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.07.2012  Patentblatt  2012/27 (21) Anmeldenummer: 10743044.9 (22) Anmeldetag:  11.08.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/02(2006.01) B24B 37/04(2012.01) B24B 7/17(2006.01) H01L 21/304(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/004916 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/023297 (03.03.2011 Gazette  2011/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 26.08.2009 DE 102009038941 (71) Anmelder: Siltronic AG 81737 München (DE)	(72) Erfinder: SCHWANDNER, Jürgen 84518 Garching (DE) (74) Vertreter: Baar, Christian et al c/o Siltronic AG Corporate Intellectual Property Hanns-Seidel-Platz 4 81737 München 81737 München (DE)