(19)
(11) EP 2 471 091 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
13.10.2011

(43) Veröffentlichungstag:
04.07.2012  Patentblatt  2012/27

(21) Anmeldenummer: 10763177.2

(22) Anmeldetag:  05.10.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/58(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/064782
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/054611 (12.05.2011 Gazette  2011/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 26.10.2009 DE 102009050703

(71) Anmelder: Evonik Goldschmidt GmbH
45127 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • ARNING, Volker
    40477 Düsseldorf (DE)
  • STEIGER, Jürgen
    40237 Düsseldorf (DE)
  • SCHOENEMANN, Ingo
    45473 Mülheim an der Ruhr (DE)
  • HOPPE, Arne
    44623 Herne (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR SELBSTASSEMBLIERUNG ELEKTRISCHER, ELEKTRONISCHER ODER MIKROMECHANISCHER BAUELEMENTE AUF EINEM SUBSTRAT