(19)

(11)

EP 2 473 645 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 11.07.2012  Patentblatt  2012/28 (21) Anmeldenummer: 10752782.2 (22) Anmeldetag:  06.09.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/12(2006.01) C23C 14/24(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/063031 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/026971 (10.03.2011 Gazette  2011/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 04.09.2009 DE 102009040086 (71) Anmelder: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH 01324 Dresden (DE)	(72) Erfinder: GROSS, Harald 01465 Langebrück (DE) (74) Vertreter: Lippert, Stachow & Partner  Patentanwälte Krenkelstrasse 3 01309 Dresden 01309 Dresden (DE)