(19)
(11) EP 2 474 046 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.07.2012  Patentblatt  2012/28

(21) Anmeldenummer: 10759568.8

(22) Anmeldetag:  07.08.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
C23C 14/08(2006.01)
 C23C 14/58(2006.01)
H01L 31/0236(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2010/000943
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/026455 (10.03.2011 Gazette  2011/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 02.09.2009 DE 102009039777

(71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • BUNTE, Eerke
    52428 Jülich (DE)
  • OWEN, Jorj
    52428 Jülich (DE)
  • HÜPKES, Jürgen
    47877 Willich (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND STRUKTURIERUNG EINER ZINKOXIDSCHICHT UND ZINKOXIDSCHICHT