| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO SE SI SK SM TR |
| (30) |
Priorität: |
10.09.2009 DE 102009041041
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| (43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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18.07.2012 Patentblatt 2012/29 |
| (73) |
Patentinhaber: ALD Vacuum Technologies GmbH |
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63457 Hanau (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- HEUER, Volker
60598 Frankfurt (DE)
- LÖSER, Klaus
63533 Mainhausen (DE)
- SCHMITT, Gunther
63454 Hanau (DE)
- WELZIG, Gerhard
60314 Frankfurt (DE)
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| (74) |
Vertreter: Plate, Jürgen |
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Plate Schweitzer Zounek
Patentanwälte
Rheingaustrasse 196 65203 Wiesbaden 65203 Wiesbaden (DE) |
| (56) |
Entgegenhaltungen: :
EP-A1- 1 236 810 EP-A2- 0 422 353 DE-A1- 4 132 712 DE-A1- 19 829 825 DE-C1- 10 030 046 JP-A- 63 033 552
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EP-A1- 1 333 105 EP-A2- 1 247 875 DE-A1- 10 322 255 DE-C1- 4 318 400 DE-U1-202008 010 215 US-A- 3 575 398
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