(19)

(11)

EP 2 475 804 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.07.2012  Patentblatt  2012/29 (21) Anmeldenummer: 10751613.0 (22) Anmeldetag:  30.08.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/46(2006.01) C23C 16/52(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/062631 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/029739 (17.03.2011 Gazette  2011/11)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 08.09.2009 DE 102009043960 (71) Anmelder: Aixtron AG 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: STRAUCH, Gerhard Karl 52072 Aachen (DE) BRIEN, Daniel 52064 Aachen (DE) DAUELSBERG, Martin 52074 Aachen (DE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk  RIEDER & PARTNER Patentanwälte - Rechtsanwalt Corneliusstrasse 45 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)