(19)

(11)

EP 2 478 551 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 25.07.2012  Patentblatt  2012/30 (21) Anmeldenummer: 10776926.7 (22) Anmeldetag:  16.09.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/20(2006.01) H01L 21/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2010/001094 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/032546 (24.03.2011 Gazette  2011/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 20.09.2009 DE 102009042349 (71) Anmelder: Azzurro Semiconductors AG 39106 Magdeburg (DE)	(72) Erfinder: DADGAR, Armin 10555 Berlin (DE) KROST, Alois 13589 Berlin (DE) RAVASH, Roghaiyeh 39106 Magdeburg (DE) (74) Vertreter: Eisenführ, Speiser & Partner  Anna-Louisa-Karsch-Strasse 2 10178 Berlin 10178 Berlin (DE)