(19)

(11)

EP 2 483 448 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.08.2012  Patentblatt  2012/32 (21) Anmeldenummer: 10754853.9 (22) Anmeldetag:  10.08.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 28/00(2006.01) F01D 5/28(2006.01) C23C 30/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2010/000951 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/038705 (07.04.2011 Gazette  2011/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 29.09.2009 DE 102009043370 (71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: HÜTTEL, Thomas 52428 Jülich (DE) VASSEN, Robert 52134 Herzogenrath (DE) QUADAKKERS, Willem, J. NL-6363 EG Wijnandsrade (NL) (74) Vertreter: Hoppe, Karin  Forschungszentrum Jülich GmbH Abt. R-P 52425 Jülich 52425 Jülich (DE)