(19)

(11)

EP 2 483 918 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.08.2012  Patentblatt  2012/32 (21) Anmeldenummer: 10770993.3 (22) Anmeldetag:  04.10.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/687(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/006052 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/038938 (07.04.2011 Gazette  2011/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 02.10.2009 DE 102009048170 (71) Anmelder: Deutsches Elektronen-Synchrotron DESY 22607 Hamburg (DE)	(72) Erfinder: DÖHRMANN, Ralph 21360 Vögelsen (DE) (74) Vertreter: UEXKÜLL & STOLBERG  Patentanwälte Beselerstraße 4 22607 Hamburg 22607 Hamburg (DE)