(19)

(11)

EP 2 486 393 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 03.06.2011 (43) Date de publication: 15.08.2012  Bulletin  2012/33 (21) Numéro de dépôt: 10781960.9 (22) Date de dépôt:  08.10.2010

(51) Int. Cl.:  G01N 21/64(2006.01) H01L 33/00(2010.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2010/052127 (87) Numéro de publication internationale: WO 2011/042673 (14.04.2011 Gazette  2011/15)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 08.10.2009 FR 0904820 (71) Demandeur: Université de Technologie de Troyes 10010 Troyes Cédex (FR)	(72) Inventeurs: LERONDEL, Gilles F-10800 Saint Julien les Villas (FR) DIVAY, Laurent F-94200 Ivry sur Seine (FR) LEBARNY, Pierre F-91400 Orsay (FR) SIMIC, Vesna F-92370 Chaville (FR) GALTIER, Pierre F-94800 Villejuif (FR) (74) Mandataire: Novagraaf Technologies  122 rue Edouard Vaillant 92593 Levallois-Perret Cedex 92593 Levallois-Perret Cedex (FR)