(19)

(11)

EP 2 489 067 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 22.08.2012  Patentblatt  2012/34 (21) Anmeldenummer: 10757225.7 (22) Anmeldetag:  28.09.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/677(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/064318 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/045178 (21.04.2011 Gazette  2011/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (30) Priorität: 12.10.2009 DE 102009049905 (71) Anmelder: Gebr. Schmid GmbH 72250 Freudenstadt (DE)	(72) Erfinder: LINK, Bernd 72175 Dornhan (DE) DETTLING, Tobias 78727 Oberndorf (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner  Kronenstrasse 30 70174 Stuttgart 70174 Stuttgart (DE)