(19)

(11)

EP 2 489 079 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 01.12.2011 (43) Veröffentlichungstag: 22.08.2012  Patentblatt  2012/34 (21) Anmeldenummer: 10771001.4 (22) Anmeldetag:  11.10.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/052(2006.01) F24J 2/06(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2010/006202 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/045013 (21.04.2011 Gazette  2011/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 13.10.2009 DE 102009049228 (71) Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: WIRTH, Harry 79249 Merzhausen (DE) (74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR  Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 13 80339 München 80339 München (DE)