(19)

(11)

EP 2 489 080 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 27.10.2011 (43) Veröffentlichungstag: 22.08.2012  Patentblatt  2012/34 (21) Anmeldenummer: 10790888.1 (22) Anmeldetag:  13.10.2010

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/107(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2010/075108 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2011/044896 (21.04.2011 Gazette  2011/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 16.10.2009 DE 102009049793 (71) Anmelder: First Sensor AG 12459 Berlin (DE)	(72) Erfinder: PIERSCHEL, Michael 12621 Berlin (DE) KUDELLA, Frank 12555 Berlin (DE) (74) Vertreter: Bittner, Thomas L.  Boehmert & Boehmert Pettenkoferstrasse 20-22 80336 München 80336 München (DE)