(19)
(11) EP 2 490 063 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
09.02.2022  Patentblatt  2022/06

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
05.01.2022  Patentblatt  2022/01

(21) Anmeldenummer: 12155911.6

(22) Anmeldetag:  17.02.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 26/10(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G01B 11/26; G02B 26/105

(54)

Laserscanningmikroskop mit einer Scanspiegelvorrichtung

Laser scanning microscope with scanning mirror device

Microscope à balayage laser avec dispositif de miroir de balayage

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 21.02.2011 DE 102011004477
21.02.2011 US 201161444846 P

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
22.08.2012  Patentblatt  2012/34

(73) Patentinhaber: Carl Zeiss Microscopy GmbH
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • Richter, Stefan
    07743 Jena (DE)
  • Milanovic, Veljko
    Richmond 94804 (US)
  • Rudolph, Günter
    07743 Jena (DE)
  • Stutz, Michel
    81541 München (DE)
  • Krampert, Gerhard
    Unit D, Pleasanton CA 94566 (US)

(74) Vertreter: Patentanwälte Geyer, Fehners & Partner mbB 
Perhamerstrasse 31
80687 München
80687 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A2- 0 390 969
DE-A1- 10 357 062
 WO-A1-03/012818
JP-A- H0 744 647
   
  • MILANOVIC V ET AL: "Monolithic high aspect ratio two-axis optical scanners in SOI", PROCEEDINGS OF THE IEEE 16TH. ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS. MEMS 2003. KYOTO, JAPAN, AN. 19 - 23, 2003; [IEEE INTERNATIONAL MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS CONFERENCE], NEW YORK, NY : IEEE, US, vol. CONF. 16, 19 January 2003 (2003-01-19), pages 255-258, XP010636957, DOI: 10.1109/MEMSYS.2003.1189734 ISBN: 978-0-7803-7744-8
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).