(19)
(11) EP 2 491 338 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.08.2012  Patentblatt  2012/35

(21) Anmeldenummer: 10728168.5

(22) Anmeldetag:  21.06.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/058722
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/047890 (28.04.2011 Gazette  2011/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 19.10.2009 EP 09013170

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MELZER-JOKISCH, Torsten
    15366 Neuenhagen bei Berlin (DE)
  • OPPERT, Andreas
    14612 Falkensee (DE)
  • THOMAIDIS, Dimitrios
    14197 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR SCHICHTDICKENMESSUNG MITTELS LASERTRIANGULATION UND VORRICHTUNG