Einrichtung und Verfahren zur Messung der Geschwindigkeit oder der Stromausbeute bei der Abscheidung oder beim Abtrag von Oberflächen und zur darauf basierenden Prozesssteuerung

(19)

(11)

EP 2 495 357 A8

(12)	KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG
	Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15)	Korrekturinformation:
	Korrigierte Fassung Nr. 1 (W1 A2)

(48)	Corrigendum ausgegeben am:
	21.11.2012 Patentblatt 2012/47

(43)	Veröffentlichungstag:
	05.09.2012 Patentblatt 2012/36

(21)	Anmeldenummer: 11190813.3

(22)	Anmeldetag: 25.11.2011

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

C25D 21/12^(2006.01)

C23C 18/16^(2006.01)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	BA ME

(30)

Priorität:

25.11.2010 DE 102010061984

(71)	Anmelder: Technische Universität Dresden
	01069 Dresden (DE)

(72)	Erfinder:
	Giebler, Eckart 01159 Dresden (DE) Reich, Andy 01219 Dresden (DE) Graefenhan, Wolfgang 01237 Dresden (DE) Kramm, Ulrich 12301 Berlin (DE) Hubert, Christian 04319 Leipzig (DE) Wendt, Thomas 04275 Leipzig (DE)

(74)	Vertreter: Lippert, Stachow & Partner
	Patentanwälte Krenkelstrasse 3 01309 Dresden 01309 Dresden (DE)

(54)	Einrichtung und Verfahren zur Messung der Geschwindigkeit oder der Stromausbeute bei der Abscheidung oder beim Abtrag von Oberflächen und zur darauf basierenden Prozesssteuerung

(57) Die Erfindung betrifft eine Einrichtung und ein Verfahren zur Messung der Geschwindigkeit oder der Stromausbeute bei der Abscheidung oder beim Abtrag von Oberflächen bei dem ein stabförmiger Sensor in longitudinale Schwingungen versetzt wird und aus der Auswertung der Verschiebung der Eigenfrequenz bei Masseänderung des Stabes ein zeitlicher Verlauf der abgeschiedenen oder abgetragenen Masse am Sensor fortlaufend ermittelt wird.